揭秘远程微波PECVD系统（远程微波等离子体化学气相沉积）

Nano-Master的远程微波等离子体化学气相沉积（PECVD）系统应用范围广泛，包含：基片或粉体的等离子诱导表面改性等离子清洗粉体或颗粒表面等离子聚合SiO2,Si3N4或DLC及其他薄膜CNT和石墨烯的选择性生长单晶或多晶金刚石生长

微波模块：NANO-MASTER独J专利技术的高质量长寿命远程微波源，频率为2.45GH，微波发射功率可以自主调节，微波反射功率可通过调节降低至发射功率的千分之一以内。远程微波源，可实现无损伤缺陷的沉积或生长。设备腔体：水冷侧壁，确保在高温工艺下腔体外表面温度控制在60℃内；在高温工艺进行过程中，等离子体被束缚在有限的体积内，不会对腔体造成刻蚀。样品台：可自动加热到zui高1200℃，PID控制，精度±1℃，跟微波电源的加热独立。高温工艺下可持续旋转，主动冷却。具有自动升降功能，可针对自动Load Unload下降样品台便于片托自动取出。温度模块：通过系统参数实现衬底温度控制,在稳定的工艺过程中温度浮动不超过±10℃。利用双波长高温计实现对衬底的非接触式温度测量；样品台内部通过热电偶测量。气体控制：根据需求zui多可配置8路工艺气体，配备吹扫气路，利用氮气或是氩气对管路吹扫。淋浴头和气体环均匀设计，使得气体在高温工作状态下成分均一，流速稳定，不会对衬底造成扰动。真空模块：腔室的极限真空度可达1*10-5Pa样品传送模块：系统可以支持自动Load Lock实现计算机控制的自动进样和出片控制模块：配备计算机控制系统，详细记录工艺过程中各项参数。具备安全互锁功能及4级密码授权访问控制。

金刚石膜 较大微晶金刚石膜 精细纹理纳米结晶金刚石膜

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以远程微波PECVD系统沉积金刚石薄膜为例，从甲烷、氢气或氩气的气体混合物中将多晶金刚石薄膜沉积到衬底上。沉积过程中的基片温度通常为800~900°C，通过双波长高温计测量。甲烷、氢气和氩气的浓度、功率和压力值可以改变，以产生各种金刚石膜纹理。因金刚石的许多特性：如化学惰性和稳定性，高导热性，高声速，高断裂强度，疏水性，耐磨性，生物惰性，其表面可功能化，并涂覆保形性等，使其成为许多应用的独特选择。应用包括MEMS/NEMS器件、摩擦学（机械和生物部件涂层）、热（散热器/扩散器）、切割工具、辐射传感器（电离辐射探测器/剂量计）、电化学应用（生化传感器）、光学（红外窗口、透镜、X射线窗口）和离子束剥离箔。